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该立式镀膜生产线为磁控溅射连续镀膜生产线,工件架运动采用磁导向结构,设有工件架自动返回系统,减少了劳动力;由于工件是立式安装,减少了膜面产生针孔的概率;可配置平面或圆柱磁控溅射靶,配合直流、中频等靶电源可在玻璃、亚克力等基片上上镀制金属膜、化合物膜、介质膜和各种膜系;还可以根据艺需要配深冷系统、轰击或离子源清洗系统、基片加热系统;广泛应用于电子、家电及汽车镜等产品的镀膜。
立式双腔回转镀膜生产线的真空室分为左右两个独立腔体,每个腔体都有独立的抽气机组;生产线最前端后最后端分别设有回转架和回转室,回转架上的工件架经过各个真空室的右侧腔体进入回转室,再从回转室经过各个真空室的左侧腔体返回到回转架装卸工件,镀膜室左、右两侧腔体都装有磁控溅射靶,两侧都可以镀膜,这样就增加了镀膜速度,也大大的节省了生产线占地面积,工件架在真空室内返回减少了被污染的机率。
如果将生产线最前端后最后端分别设有的回转架、回转室更换为平移架和平移室则工件架左、右两侧都可以装工件(双面镀膜)生产效率可增加一倍。
主要性能特点:
◆立式结构膜层质量更好,产品质量更稳,应用范围广
◆设备稳定性好,减少劳动力、生产效率高
◆采用可编程控制器(PLC),触摸屏(HMI)人机控制界面,操作简单易用
◆双腔回转镀膜生产线大大的节省了生产线占地面积
◆双腔回转镀膜生产线生产效率更高,应用范围更广。
生产线型号:
DXJL-1020-12B-6 DXJL-1224-12B-6
最大工件尺寸(mm):
H1000×L2000 H1200×L2440
备注:
生产线尺寸及配置可按客户要求订做
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