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Low-E玻璃是在浮法玻璃基片表面上用磁控溅射的方法镀制多层特殊的金属、化合物薄膜及介质膜,对远红外光具有双向阻隔作用,既可以减少太阳光产生的热辐射进入室内,又可以将室内物体产生的热能反射回来,从而降低玻璃的热辐射通过量,具有其它节能玻璃所不具备的优势。该生产线主要由清洗系统、抽气系统、镀膜系统、检测系统及控制系统组成。
主要性能特点
◆采用旋转孪生靶中频反应溅射技术,大大提高了介质膜的沉积速率及膜层的均匀度和靶材利用率。
◆采用先进的PEM闭环控制系统,确保反应溅射在金属溅射的过渡区,大大提高了反应溅射的效率及膜层成分的准确性。
◆每个溅射区根据靶材不同采用有效的气体隔离,保证每个溅射区气压的稳定性,工艺气体纯度及稳定性。
◆过程控制采用进口PLC及控制设备,系统通讯通过ControlNet网络实现各设备间的信息交换,使整个系统结构简单可靠。
◆采用光学在线检测系统,快速采集溅射过程基片的透射、反射光光谱等各种数据和曲线,并和设定标准数据相比较,对溅射过程进行有效控制。
生产线型号:
DXJLE-2436-28B-8 DXJLE-1824-28B-8
工件尺寸(mm):
W2400×L3660 W1830×L2440
备注:
生产线尺寸及配置可按客户要求订做
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